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■ MicroCoustic 9500 ( 430kHz )
中間周波数帯域430kHzを用い、0.2ミクロン〜0.8ミクロン程度のパーティクルを除去します。
430kHz帯域は、液晶ガラスやガラスマスクの中間洗浄に最適です。40kHz - 430kHz - 950kHz を組み合わせて使用することで、パーティクルの問題は解決します。
■ MicroCoustic スポットシャワー
( 430kHz )
・430kHz 50W の出力
・反射方式を採用し、優れた超音波強度と到達距離
・電力計内臓により、常時出力のモニター機能
・8段階出力設定セレクト端子
430kHz ｽﾎﾟｯﾄｼｬﾜｰは、ウェーハやディスクの中間洗浄に威力を発揮します。
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