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■ 0.2ミクロン以下のパーティクルを除去
ブランソン製MagaCoustic 9500シリーズは半導体ウェーハ洗浄用に開発され た超音波発振器で、0.2μm以下のパーティクルの除去が可能です。約10万Ｇの加速度で水分子を振動させ、その力でパーティクルをウェーハから剥離します。周波数が950kHzと高いためキャビテーションは発生せず、ウェーハにダメージを与えません。また、全面同時照射型の振動板は強力で均一な洗浄を効率良く行い、直進流を発生させて除去後のパーティクルの再付着を防止します。高品質で再現性の高い精密洗浄が可能です。
■ メガディップ洗浄ビデオ
■ 組み合わせ
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MegaCoustic発振器
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SUS振動板 (石英槽) |
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ラインシャワー |
| Mega シャワー発振器 |
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スポットシャワー |
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■ 9500 発振器
MagaCoustic 9500シリーズの特徴
・発振回路に POWER MOS FET を採用
・出力の上下限判定機能(接点出力有り)
・RS-485インターフェース標準装備
・8段階出力設定セレクト端子
・DeviceNet 標準装備
・各種保護回路内蔵
・最大5.4W/cm2の高いパワー密度
■ 標準振動板
6"ウェーハ用標準振動板
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型式
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BPT904
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BPS904
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許容入力
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300W x 4
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周波数
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950kHz
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振動照射面
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136 x 163 mm
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振動板材質
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タンタル
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SUS316L
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外形寸法
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185 x 215 x 55
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8"ウェーハ用標準振動板
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型式
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BPT906
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BPS906
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許容入力
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300W x 6
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周波数
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950kHz
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振動照射面
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165 x 215 mm
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振動板材質
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タンタル
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SUS316L
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外形寸法
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255 x 305 x 55
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300mm ウェーハ用標準振動板
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型式
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BPS916
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BPS716
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許容入力
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300W x 16
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周波数
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950kHz
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750kHz
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振動照射面
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273 x 327 mm
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275 x 319 mm
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振動板材質
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SUS316L
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外形寸法
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390 x 370 x 55
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410 x 340 x 65
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